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Brooks質(zhì)量流量計5800系列中文說明書

5800 系列質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器在穩(wěn)定性和可靠性方面堪稱標G，因而贏得廣泛的認可。這些產(chǎn)品具有廣泛的流量測量范圍并適用于各種各樣的溫度和壓力條件，非常適合在化工和石化研究、實驗室、分析、燃料電池和生命科學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用。

優(yōu)點：

• Z越的信噪比性能，可在低設(shè)定值下獲得高精度

• 通過改進傳感器制造和燒機測試工藝獲得Z越的長

期穩(wěn)定性

• 恒溫封裝可降低對外部溫度變化的敏感性

寬流量范圍

5800 系列的流量范圍極廣。5850 型具有低至 3 ccm的滿量程流量。借助 50:1 的高調(diào)節(jié)比，可重復(fù)測量或控制 0.06 ccm 流量的氣體！5853 型可監(jiān)測或控制高達1000 lpm 的氣體流量。

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